- Métrologie des états de surface

- Spécifications - type :

* Max.f.dév. à h=200mm inf. à 4µ/100mm

- Mesure multisonde double-face

- Multi-voies optiques 3 mm, 300µ, CCD

* Epaisseur, dessus-dessous multiplexée temps réel

  avec cohérence des profils et surfaces

- Axes motorisés cc

- Applications

* Mesures d'épaisseurs absolues en référence Top-Down-Thickness

* Cartographies 3D

* Epaisseurs de films transparents

* Métrologies des "scores"